
真空吸盤
產品描述
主要用于吸附晶圓、晶圓的搬運、定位和固定。光刻機是半導體制造中的關鍵設備之一,真空吸盤用于承載和固定硅片,確保在曝光過程中硅片的精確定位和穩定。真空吸盤的高平面度和平行度有助于提高光刻精度。陶瓷真空吸盤是由多孔陶瓷材料制成,具有高導熱性、高絕緣性、耐腐蝕性和低熱膨脹系數。它們在半導體晶圓制造的減薄、切割、研磨、清潔和處理等工序中廣泛應用,有效解決了晶圓印痕、芯片靜電擊穿和粒子污染等問題。
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